天加水冷螺杆机组护航华中半导体巨头封装产线
在半导体芯片制造领域,0.1℃的温差波动影响着百万级产品的生产线良率。面对华中半导体龙头安芯美科技的高精度温控需求,天加用硬核技术交出了一份标杆级答卷。
项目背景
芯片制造的“温度生命线”
制冷空调系统,作为芯片生产车间的重要环境构成,除了通过精确控制车间内的温度,确保工艺在最佳温度范围内进行,从而提高芯片的成品率外,还负责管理车间的湿度、洁净度和气流分布等环境因素。通过精确的环境管理,减少尘埃和污染物对芯片制造过程的影响,从而确保高质量芯片生产工作。
图|安芯美科技公司
安芯美科技(湖北)——华中半导体/微电子制造核心企业,深耕芯片封装测试、Mini/Micro LED显示技术领域,其湖北咸宁生产基地承载着年产值25亿元、600亿颗芯片的封装重任,其制冷机房建设是严苛的环境制程中的重要一环,也面临诸多挑战:
精度极限:26000㎡厂区需±0.3℃水温精度· 持续作战:24/7不间断运行的工艺冷却系统· 环境对抗:夏季高温高湿气候下的稳定性保障·?绿色刚需:省级重点项目强制节能减碳要求“这不仅是制冷,更是保障芯片良率的生命线。”项目负责人如是说。
天加方案
为芯片制造定制“温度保险箱”
天加技术团队在充分了解客户需求,并进行多次场景模拟分析研判后,最终采用3台TICA TWSF0250.1GC1水冷螺杆机组组成多机联控系统,并将工艺冷却水与空调冷冻水系统分开,避免交叉污染,创新性地采用三大技术策略,为客户带来“量体裁衣”的解决方案:
冗余备份设计:均衡运行,自动切换保障,互为备用
正偏离制冷量:出水温度持续稳定 水温偏离≤±0.3℃
智能化控制算法:最低实现12℃低冷却水工况下安全启动,主动寻优运行,完美适配客户业态工艺场景变化。并基于天加天加OptSeek智慧物联数据平台,实现智慧运维和能效实时诊断,数据三方公信共管,为客户实现全生命周期系统解决方案。
图|项目现场天加水冷螺杆机组
项目落地后,机组始终高效稳定运行,全年水温波动≤0.28℃,优于设计标准;目前已无故障运行突破3569小时,基于增效运行控制逻辑,可全年运行费用降低5%,年减碳34.3吨。
图|天加数据物联平台
该项目作为天加在半导体行业的系统样板工程,验证了天加专业空气制程在精密制造领域的可复制价值,也为破解高温高湿地区精密温控难题,提供了制冷机房的智能运维范式。